Фемтосекундный лазерный импульс очень короткий, тепло не уходит в стороны, и поэтому границы любого отверстия, профиля, желобка получаются очень резкими, с нанометровыми характеристическими Фемтосекундный лазерный импульс оченькороткий, тепло не уходит в стороны,и поэтому границы любого отверстия, профиля, желобка получаются очень резкими, с нанометровыми характеристическими размерами. Ультракороткие лазерные импульсы вызывают повреждение и выброс поверхностного нанослоя толщиной от 10 нм. Во многих материалах образуются кратеры с плоским дном и резкими границами за счёт сверхбыстрых фазовых превращений и разлёта вещества, характерных только для таких импульсов.
Лазерная технологическая система для прецизионной обработки материалов, изготовленная в нашем центре, собрана на основе фемтосекундного волоконного лазера.
Лазер имеет большую частоту повторения импульсов (5 кГц), возможность генерации на коротких длинах волн, высокую стабильность и большой ресурс работы.
Технологическая система состоит из нескольких функциональных узлов, позволяющих перемещать либо световой луч, либо образец по траектории, задаваемой
программой. При короткой длине волны излучения лазера можно получить на поверхности объекта пятно субмикронных размеров. С помощью фемтосекундной лазерной
технологической системы была разработана технология резки и профилирования кварцевых и алмазных пластин. Атомный силовой микроскоп показал, что максимальный размер неоднородностей границы при резке составлял величину менее 1 мкм.
Posted in